- фотолитография с использованием УФ излучения
- UV photolithography
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
фотолитография с использованием УФ излучения
Look at other dictionaries:
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов. Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или… … Физическая энциклопедия
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
Фотография — (от Фото... и ...графия) совокупность методов получения стабильных во времени изображений предметов и оптических сигналов на светочувствительных слоях (СЧС) путём закрепления фотохимических или фотофизических изменений, возникающих в СЧС… … Большая советская энциклопедия
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия
Фотонный кристалл — Фотонный кристалл это материал, структура которого характеризуется периодическим изменением показателя преломления в пространственных направлениях[1]. В другой работе[2] встречается расширенное определение фотонных кристаллов … … Википедия
Микроэлектроника — область электроники (См. Электроника), занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. Возникновение М. в начале 60 х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением… … Большая советская энциклопедия
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Применение лазеров — Основная статья: Лазер С самого момента разработки лазер называли устройством, которое само ищет решаемые задачи. Лазеры нашли применение в самых различных областях от коррекции зрения до управления транспортными средствами, от космических… … Википедия
